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半导体FPD检查显微镜 / PRODUCT SHOW
MX61/MX61L金相显微镜
产品名称:MX61/MX61L金相显微镜
所属类别:半导体FPD检查显微镜
产品人气:5792
更新日期:2015/4/16 17:04:53
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MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

考虑了检查效率的设计       


主要操作集中配置在前面板上       

前面板
前面板                       
[1] 照明强度旋钮
[2] 物镜倍率切换                       
[3] 孔径光阑调节                       
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。                   


观察姿势迅速到位的倾斜镜筒       

倾斜镜筒示意图
倾斜镜筒示意图
为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150                        mm,SEMIS8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。                   


高灵敏度载物台可以迅速决定位置       

内置离合器的载物台手柄
内置离合器的载物台手柄
对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。                   


鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系       


多种选择可实现卓越的成像性能       

物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。       

观察影像实例
明视场观察
明视场观察
暗视场观察
暗视场观察
微分干涉观察
微分干涉观察
荧光观察
荧光观察



软件方案       

实现数字成像       

MX61L配备了PC界面,可以读取显微镜的电动功能。因此,捕获影像时可以自动保存物镜倍率,为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。       


使用数码照相机记录和保存数码影像       

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。       


支持缺陷检测的多种功能       


快速切换物镜,提高检查速度       

电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。                   


变换物镜,孔径光阑(AS)也随之调节       

AS自动调节示意图
AS自动调节示意图
每次变换物镜时都需要调节孔径光阑(AS)的话,会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。                   


帮助实现多种观察的附件       


安全快速的搬运晶圆       

自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合
自动晶圆搬送机AL110(200 mm规格)组合
MX61L能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。                   


近红外线观察单元       

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。       

近红外线观察单元
近红外线观察单元
粘合衬垫
粘合衬垫


荧光观察单元       

在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U。B。G激励的反射镜装置,可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。       

荧光镜单元
荧光镜单元
荧光观察
荧光观察


透射照明单元       

透射照明单元
透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。                   
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